随着全球太阳能电池产量的快速增加,直接拉动了多晶硅材料需求的迅猛增长。为满足我国多晶硅产业发展的市场需求,我公司与电子信息产业部设计院共同合作,开发研制了硅芯炉成套生产设备。该设备技术先进、自动化程度高、性能稳定、操作简便,维修容易。
硅芯炉设备组成及主要技术参数
硅芯生产设备组成
1、硅芯炉一台
2、硅芯专用高频电源一台
芯生产设备主要技术参数
●生产能力及外部条件
●炉体技术参数
1、生产能力;4根/炉 6根/炉
1、上轴最大行程:2300mm
2、原料规格:Φ(45-50)×500mm
2、上轴有效行程:2300mm
3、电阻率:<100Ω
3、下轴最大行程: 550mm
4、成品规格:Φ(7-10)×2100mm
4、下轴有效行程: 530mm
5、加热电源电压:3相380V
5、上轴快速升/降:1300mm/min 700mm/min
6、高频感应加热电源:功率40/60KW
6、上轴慢速升/降:0-60mm/min
7、开炉时真空度≤3Pa
7、下轴转速: 0-30rpm
8、下轴慢速升/降:0.02-10mm/min
9、下轴快速升/降:约150mm/min 约75mm/min
10、下轴径向跳动:0.1mm
11、下轴轴向跳动:0.05mm
12、上、下轴同轴度:1.5mm
设备报价
1、4根/炉 万元
2、6根/炉 万元
交货周期
天
质量保证及售后服务
负责设备安装调试,设备整机保修一年、终身维修。负责培训硅芯拉制操作技术人员。
版权所有:保定市金方电子电器有限责任公司